确定密闭腔室中衬底位置的方法和执行该方法的装置

摘要

本发明涉及一种确定密闭腔室中衬底位置的方法和装置，其中，所述衬底通过传输系统在腔室内移动，所述传输系统至少包括一个旋转轴。提供了相邻于至少一个所述旋转轴的负载转换元件，其中所述负载转换元件检测作用在所述至少一个旋转轴上的负载并将其转换成电参数。当所述至少一个旋转轴上不存在衬底时，测量对应于电参数的第一值的第一输出信号。当输出信号与第一输出信号相差至少预定量时，监测输出信号并检测所述至少一个旋转轴上是否存在衬底。