公开/公告号CN112444200B
专利类型发明专利
公开/公告日2021-12-31
原文格式PDF
申请/专利权人 上海微电子装备(集团)股份有限公司;
申请/专利号CN201910804377.5
申请日2019-08-28
分类号G01B11/00(20060101);G01B11/06(20060101);
代理机构11332 北京品源专利代理有限公司;
代理人孟金喆
地址 201203 上海市浦东新区自由贸易试验区张东路1525号
入库时间 2022-08-23 12:53:16
机译: 一种设备,用于通过中空的圆柱形工作台上的工作台表面来操作字符,采样或其他工作机械的二维运动,该工作台是拉伸的薄片或foerenfoermigen工件
机译: 一种用于在工作台上提供和/或用于存储和/或生成至少一种介质的设备,以及用于与工作台和系统连接的组件的不同介质
机译: 一种用于在工作台上提供和/或用于存储和/或生成至少一种介质的设备,以及用于与工作台和系统连接的组件的不同介质