公开/公告号CN108291301B
专利类型发明专利
公开/公告日2021-12-28
原文格式PDF
申请/专利权人 优美科股份公司及两合公司;
申请/专利号CN201680068576.9
申请日2016-11-24
分类号C23C16/448(20060101);C23C16/30(20060101);C23C16/40(20060101);C30B25/02(20060101);C07F5/00(20060101);C30B23/06(20060101);
代理机构11038 中国贸促会专利商标事务所有限公司;
代理人刘学媛
地址 德国哈瑙-沃尔夫冈
入库时间 2022-08-23 12:53:04
机译: 一种使用铟烷基化合物在烃中的溶液进行有机金属气相沉积的方法
机译: 使用烷基铟化合物在烃中的溶液进行金属有机气相沉积
机译: 利用烃中铟烷基化合物溶液进行金属有机化学气相沉积的方法