带有级间入口的多级涡轮分子泵

摘要

公开了一种多级涡轮分子泵。泵包括：较高真空级，其包括多个转子叶片排；较低真空级，其包括直径比较高真空级的转子叶片排大的多个转子叶片排；级间入口，其用于在较高真空级与较低真空级之间将气体输入到涡轮分子泵中，该入口从泵的外圆周延伸至在较大直径内的径向位置，并包括用于在轴向方向上引导气体进入泵的气体引导构造。