MEMS麦克风的修调装置及其修调方法

摘要

本申请公开了一种MEMS麦克风的修调装置及其修调方法，每个MEMS麦克风根据偏置电压和增益提供输出信号，该修调方法包括：将第一配置数据烧录至第一组MEMS麦克风，以便于第一组MEMS麦克风中每个MEMS麦克风的偏置电压和增益被第一配置数据配置；对于第一组MEMS麦克风，根据每个MEMS麦克风提供的输出信号获得该MEMS麦克风的灵敏度；根据第一组MEMS麦克风中每个MEMS麦克风的灵敏度选择相匹配的第二配置数据；以及将第二配置数据烧录至第二组MEMS麦克风，其中，对于第二组MEMS麦克风中的每个MEMS麦克风，偏置电压和增益被第二配置数据配置，以便于该MEMS麦克风的灵敏度被配置于预设范围内。