一种在线检测红外焦平面探测器杜瓦瓶寿命的装置及方法

摘要

本发明提供一种在线检测红外焦平面探测器杜瓦瓶寿命的装置及方法，包括真空室以及与真空室相连的若干工位接口，通过测量排气管与一个工位接口相连的测量组件；所述测量组件的另一端设有第二BA热阴极规管，第二BA热阴极规管依次与真空计、计算机相连。本发明通过实时在线检测真空获得关键工艺参数真空度，运用稀薄气体物理和真空技术原理，建立真空有用寿命与关键工艺参数的数学模型，进而得到气体源出气速率。有利于优化真空获得工艺，提高生产效率和降低生产成本，也能够有效地控制真空获得工艺质量参数，提高待测制冷型红外焦平面探测器杜瓦组件的高真空绝热能力和可靠性。