一种基于维恩分析器校正二阶像差的设计方法

摘要

本发明公开了一种基于维恩分析器校正二阶像差的设计方法，针对有偏转系统的存在时，此时沿着光轴附近将场函数做级数展开分析系统电子光学特性，能够分析因偏转带来的二阶像差。利用维恩分析器，通过给圆弧电极施加电压信号激励，让分析器产生所需的四极场，叠加在维恩分析器上。针对整个成像系统或检测系统，计算其光学特性，根据叠加四极场所计算的结果，控制调节加入四极场的方位角和激励强度，从而达到补偿系统因偏转带来的二阶像差。