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干膜抗蚀剂、电路布线的制造方法、电路布线、输入装置及显示装置

摘要

本发明涉及一种干膜抗蚀剂、电路布线的制造方法、电路布线、输入装置、显示装置。提供能够制造图案直线性高的电路布线的干膜抗蚀剂。一种干膜抗蚀剂、电路布线的制造方法、电路布线、输入装置、显示装置,所述干膜抗蚀剂为在临时支承体上具有抗蚀剂层的正型干膜抗蚀剂,临时支承体的总光线雾度为0.3%以下。

著录项

  • 公开/公告号CN107015437B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2021-11-16

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 富士胶片株式会社;

    申请/专利号CN201610919906.2

  • 发明设计人 片山晃男;长田崇一郎;

    申请日2016-10-21

  • 分类号G03F7/039(20060101);G03F7/004(20060101);G06F3/041(20060101);

  • 代理机构11021 中科专利商标代理有限责任公司;

  • 代理人蒋亭

  • 地址 日本国东京都

  • 入库时间 2022-08-23 12:49:02

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