一种半导体设备中滤波电路的控制方法和半导体设备

摘要

本发明提供一种半导体设备中滤波电路的控制方法，包括：获取射频电源的目标频率；根据所述目标频率调整所述滤波电路中的高通滤波单元和/或低通滤波单元中的可调滤波元件，使所述滤波电路的通带与所述目标频率相匹配。在本发明提供的控制方法中滤波电路中的滤波元件可调，在更换射频电源后或调整射频电源输出频率后，仅通过调整高通滤波单元和/或低通滤波单元中的可调滤波元件，即可使滤波电路的通带与新的射频电源的频率相匹配，从而在更换或调整射频电源时不必同时更换不同通带的滤波电路，降低了设备成本。并且，利用同一滤波电路连接多种频率的射频电源，提高了设备功能的多样性和生产效率。本发明还提供一种半导体设备。