用离子束处理以产生耐刮擦的高透射率抗反射的蓝宝石的方法

摘要

用由电子回旋共振(ECR)源产生的气体单电荷和多电荷离子混合物的光束处理蓝宝石部件的方法，其中：离子的加速电压为10kV‑100kV；以离子/cm2表示的注入剂量为(5×1016)×(M/14)‑1/2‑1017×(M/14)‑1/2，其中M是离子的原子质量；以cm/s表示的移动速率VD为0.025×(P/D)‑0.1×(P/D)，其中P是光束的功率，以W(瓦特)表示，D是光束直径，以cm(厘米)表示。因此，有利地获得具有高透射率且耐刮擦的由蓝宝石制成的部件。