一种基于金钯合金修饰的SnS2敏感层的二甲苯气体传感器及其制备方法

摘要

一种基于金钯合金修饰的SnS2敏感层的二甲苯气体传感器及其制备方法，属于气体传感器技术领域。该传感器从下至上依次由Al2O3衬底、Pd金属叉指电极、在带有Pd金属叉指电极的Al2O3衬底上采用涂覆技术制备的金钯合金修饰的SnS2敏感层组成。当金钯合金修饰在SnS2的表面上时，由于双金属的协同作用使得气体传感器有良好的气体响应和优异的气体选择性。同时本发明的工艺简单、制得的二甲苯气体传感器体积小、适于大批量生产，因而具有重要的应用价值。本发明具有制备方法简单、成本低廉、响应恢复速度快、有望大规模生产的特点，对二甲苯气体具有良好的检测性能。