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用于形成CIS型薄膜太阳能电池的光吸收层的方法

摘要

一种简单器件被用于使在装置中的温度均匀并被用于改进与反应气体,硒和硫的接触的状态。将作为用于气氛均匀化的器件的风扇(3)放置于装置中,并且将工件以可使反应气体平稳循环的方式放置。即,平坦的板状工件(2)在一定间距下彼此远离地放置,其平行于所述装置的长轴方向,同时保持所述板垂直,以使得所述装置在所述工件组内具有通道并且在所述工件上部和下部和在其两边有气体通道。因此,每个工件易于与在所述装置中的反应气体接触,并且在所述装置中的温度是均匀的。改进了与所述反应气体,硒和硫的接触的状态。

著录项

  • 公开/公告号CN100490184C

    专利类型发明授权

  • 公开/公告日2009-05-20

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 昭和砚壳石油株式会社;

    申请/专利号CN200580045337.3

  • 发明设计人 小野寺胜;栗谷川悟;田中良明;

    申请日2005-12-26

  • 分类号

  • 代理机构中原信达知识产权代理有限责任公司;

  • 代理人梁晓广

  • 地址 日本东京

  • 入库时间 2022-08-23 09:02:08

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2018-12-11

    未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L 31/04 授权公告日:20090520 终止日期:20171226 申请日:20051226

    专利权的终止

  • 2015-03-18

    专利权的转移 IPC(主分类):H01L31/04 变更前: 变更后: 登记生效日:20150217 申请日:20051226

    专利申请权、专利权的转移

  • 2015-03-18

    专利权的转移 IPC(主分类):H01L 31/04 变更前: 变更后: 登记生效日:20150217 申请日:20051226

    专利申请权、专利权的转移

  • 2009-05-20

    授权

    授权

  • 2009-05-20

    授权

    授权

  • 2008-02-20

    实质审查的生效

    实质审查的生效

  • 2008-02-20

    实质审查的生效

    实质审查的生效

  • 2007-12-26

    公开

    公开

  • 2007-12-26

    公开

    公开

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