公开/公告号CN109637921B
专利类型发明专利
公开/公告日2021-10-26
原文格式PDF
申请/专利权人 ASML荷兰有限公司;
申请/专利号CN201811293777.6
发明设计人 M.J-J.维兰德;W.H.乌尔巴努斯;
申请日2014-11-14
分类号H01J37/02(20060101);H01J37/065(20060101);H01J37/12(20060101);H01J37/16(20060101);H01J37/24(20060101);H01J37/30(20060101);H01J37/317(20060101);G21K1/02(20060101);G21K5/04(20060101);
代理机构11256 北京市金杜律师事务所;
代理人王茂华
地址 荷兰维德霍温
入库时间 2022-08-23 12:40:30
机译: 具有同心图像电极的电子光学系统-绝缘环基座中的外部引脚与电极接触
机译: 具有同心图像电极的电子光学系统-绝缘环基座中的外部引脚与电极接触
机译: 具有同心图像电极的电子光学系统-绝缘环基座中的外部引脚与电极接触