一种载流式激光诱导击穿光谱在线成分分析仪

摘要

本发明涉及一种载流式激光诱导击穿光谱在线成分分析仪，包括双脉冲激光诱导击穿模块、光谱采集模块、主控与数据处理模块和液体载流模块四部分。双脉冲激光诱导击穿模块采用双脉冲合束激光系统，配合扩束聚焦镜组，能够实现激光光束自动聚焦。光谱采集模块采用三路光谱采集系统，能够增大光谱采集范围，提高光谱分辨率，满足多元素同时测量要求。主控与数据处理模块用于控制其它各模块协调工作，同时完成光谱测试与数据分析。液体载流模块能够将产生稳定的竖向束流，束流为定常层流，适用于牛顿液体在线成分检测，同时该模块能够对检测过程产生液滴溅射进行防护，降低在线成分检测设备光学元器件的污染情况，极大提高检测设备的可用性和维护性。