公开/公告号CN111829959B
专利类型发明专利
公开/公告日2021-10-22
原文格式PDF
申请/专利权人 山东大学;
申请/专利号CN202010710542.3
申请日2020-07-22
分类号G01N21/21(20060101);G01N21/31(20060101);G01N21/41(20060101);G01N21/59(20060101);
代理机构37221 济南圣达知识产权代理有限公司;
代理人李圣梅
地址 250061 山东省济南市历下区经十路17923号
入库时间 2022-08-23 12:38:35
机译: 使用封闭式公式和反射椭偏法确定吸收介质中吸收膜吸收基底系统的基底光学常数和膜厚的方法和智能设备
机译: 使用椭偏仪测量临界尺寸的测量系统和方法
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