稀释液制造装置及稀释液制造方法

摘要

稀释液制备装置(10)具有：第一配管(11)，其供给第一液体；第二罐(12a)，其贮存第二液体；第二配管(13)，其连接第一罐(12a)与第一配管(11)；压力调整部(18)，其调整第一罐(12a)内的压力，并将第一罐(12a)内的第二液体经由第二配管13进行加压输送而供给至第一配管(11)；控制部，其根据在第一配管(11)内流动的第一液体或稀释液的流量和稀释液的浓度的测量值，来调整基于压力调整部(18)的第二液体向第一液体的添加量，使得稀释液的浓度成为给定的浓度；以及第二罐(12b)，其与第一罐(12a)串联连接，临时储存向第一罐(12a)补充的第二液体。