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一种可在湿法腐蚀下实现样片单面保护的夹具及其加工装配方法

摘要

本发明公开了一种可在湿法腐蚀下实现样片单面保护的夹具及其加工装配方法,夹具包括一对单面保护装置、底座和外容器,其中,每个单面保护装置上均装配一个待腐蚀样片,一对单面保护装置平行对称固定在底座上,单面保护装置与底座组装完成后放置于外容器内。本发明采用单面保护装置只允许样片单面暴露在腐蚀溶液中;在单面保护装置两处分别刻有刻度线,用以定时定量旋转刻度转盘的角度,于此同时,底座槽型孔中的磁珠旋转对溶液进行搅拌,两者同时作用以达到均匀溶液浓度,实现更好地对样片单面腐蚀的目的。

著录项

  • 公开/公告号CN110491824B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2021-10-19

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 东南大学;

    申请/专利号CN201910725322.5

  • 发明设计人 夏敦柱;王浩;

    申请日2019-08-07

  • 分类号H01L21/687(20060101);H01L21/67(20060101);

  • 代理机构32204 南京苏高专利商标事务所(普通合伙);

  • 代理人徐红梅

  • 地址 211102 江苏省南京市江宁区东南大学路2号

  • 入库时间 2022-08-23 12:38:08

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