高抗振性电子散斑干涉测量系统和方法

摘要

提供一种高抗振性电子散斑干涉测量系统，其包括：迈克尔逊干涉仪，其包括相移镜和高速相机；压电陶瓷，用于前后移动所述相移镜；驱动器，用于驱动所述压电陶瓷；控制器，分别与所述驱动器和高速相机连接，用于发出同步的第一信号和第二信号，所述第一信号用于控制所述高速相机采图，所述第二信号为正弦电压信号且用于驱动所述压电陶瓷；其中，所述高速相机以周期t在所述正弦电压信号上升段的中间4t时间内等时间间隔采集A、B、C和D四个时刻的四幅散斑干涉图像获得对应的光强分布IA、IB、IC、ID，在所述4t时间内所述相移镜的位移为3λ/8，λ为干涉光的波长；以及处理器，用于基于所述四幅散斑干涉图像计算被测物体离面位移和/或离面位移导数。