基于光纤的三维电子散斑干涉测量系统设计

摘要

为了实现物体三维变形非接触式测量,设计了基于电子散斑干涉技术的三维变形测量系统.该系统采用了一分五型分束光纤,这根光纤在系统中起到分光和传光的作用,使系统所需器件比一般的设计系统要少.为了获得变形的量化数值,系统将电子散斑技术与相移技术结合在一起,由压电陶瓷引入相移,并采用"4+1"相移算法计算变形量.该系统可以实现面内及离面变形的独立测量,进而实现物体三维变形的测量.文中对带缺陷的木板进行了加热变形测量,检测其面内、离面变形的敏感度;然后对钢板进行了应力三维变形的测量.得其离面变形量为5μm.结果表明,设计的测量系统可以实现各种变形的测量.