具有半导体开关元件和微机电开关元件的开关胞元

摘要

本发明涉及一种包括半导体开关元件(6)、微机电开关元件(8)(MEMS)、电子控制电路(10)的开关胞元，其中，半导体开关元件(6)和微机电开关元件(8)并联连接，并且其中，控制电路(10)被设计为，使得对于开关胞元(2)的关断过程(12)，在断开(9)微机电开关元件(8)之后断开半导体开关元件(6)。