基于硫鎓盐的单分子树脂产酸剂及其光刻胶组合物

摘要

本发明属于材料技术领域，具体涉及一类基于硫鎓盐的单分子树脂产酸剂及其光刻胶组合物。本发明主要提供如下式I所示的化合物及其光刻胶组合物。本发明所述化合物同时具有产酸和酸敏感双重功能，既可以作为光刻胶的产酸剂，又可以作为光刻胶的主体材料。有助于实现对酸扩散的调控和边缘粗糙度的有效降低。