用于物体的粒子光学检查的粒子束系统和方法

摘要

本发明涉及一种粒子束系统。该粒子束系统具有多粒子束发生器，其被配置成产生多条部分粒子束，部分粒子束在空间上间隔开，至少包括第一部分粒子束和第二部分粒子束。该粒子束系统具有透镜，其被配置成用于使入射的部分粒子束聚焦在第一平面中，使得该第一平面中该第一部分粒子束撞击的第一区域与该第二部分粒子束撞击的第二区是分开的。该粒子束系统包括具有多个检测区的检测器系统和投射系统，该投射系统被配置成将交互产物投射到检测器系统上。投射系统和多个检测区相匹配，使得源自该第一平面的第一区的交互产物被投射到第一检测区上，而源自第一平面的第二区的交互产物被投射到与第一检测区不同的第二检测区上。该检测器系统包括过滤器装置。