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摘要
第一章 绪论
1.1 引言
1.2 空间辐照环境
1.2.1 地磁俘获辐射带
1.2.2 银河宇宙射线
1.2.3 太阳宇宙射线
1.3 荷电粒子束辐照效应
1.3.1 电离效应
1.3.2 离位效应
1.3.3 辐照效应产生的缺陷
1.4 Mo/Si多层膜反射镜辐照效应研究进展
1.5 半导体材料辐照效应的研究进展
1.5.1 粒子束辐照损伤效应
1.5.2 半导体材料的辐照改性效应
1.6 本文主要研究内容
第二章 实验材料、设备及研究方法
2.1 实验材料
2.2 辐照设备
2.2.1 质子束辐照设备
2.2.2 脉冲电子束辐照设备
2.3 分析测试方法
2.3.1 物理性能测试
2.3.2 表面形貌及微观结构分析
第三章 本底真空对Mo/Si多层膜反射镜微观结构和物理性能的影响
3.1 引言
3.2 实验部分
3.3 实验结果与分析
3.3.1 Mo/Si多层膜光学性能
3.3.2 X射线分析
3.3.3 透射电子显微镜分析
3.4 本章小结
第四章 Mo/Si多层膜反射镜的辐照效应研究
4.1 引言
4.2 实验部分
4.3 质子辐照模拟分析
4.4 实验结果与分析
4.4.1 质子辐照前后Mo/Si多层膜反射率变化
4.4.2 辐照前后Mo/Si多层膜表面结构的状态
4.4.3 辐照前后Mo/Si多层膜微观结构状态
4.5 Mo/Si多层膜反射镜的质子辐照效应及辐照机理
4.6 本章小结
第五章 脉冲电子束辐照下单晶Si的微观结构与性能
5.1 引言
5.2 实验部分
5.3 实验结果与分析
5.3.1 表面熔坑
5.3.2 表面微裂纹
5.3.3 表面多孔结构
5.3.4 位错结构
5.3.5 层错与空位缺陷
5.3.6 纳米及非晶结构
5.3.7 表面自组装纳米结构
5.3.8 光致发光性能
5.4 本章小结
第六章 脉冲电子束辐照下单晶Ge的微观结构与性能
6.1 引言
6.2 实验部分
6.3 实验结果与分析
6.3.1 表面熔坑及裂纹
6.3.2 表面缺陷结构
6.3.3 表面自组装纳米结构
6.3.4 纳米及非晶结构
6.3.5 光致发光性能
6.4 本章小结
第七章 结论、创新点与展望
7.1 结论
7.2 创新点
7.3 展望
参考文献
致谢
攻读博士学位期间主要研究成果