基于角度多路复用的宽带太赫兹分子指纹痕量检测光栅

摘要

本发明涉及光栅技术领域，提供了一种基于角度多路复用的宽带太赫兹分子指纹痕量检测光栅，所述检测光栅包括：金属层、衬底层、光栅层和共形层；其中，金属层和衬底层自下而上复合形成；光栅层呈周期性均匀分布在衬底层上；共形层在光源通过预设的动态角度扫描检测光栅时均匀涂覆在衬底层和光栅层表面。本发明实施例提供的基于角度多路复用的宽带太赫兹分子指纹痕量检测光栅，在进行痕量检测时，不但可以增加光和物质间的相互作用，还可以有效提高对待测物质的感知性能，提高了检测的精准度。