一种高分辨率大测量范围的硅基片上傅里叶变换光谱仪

摘要

本发明公开了一种高分辨率大测量范围的硅基片上傅里叶变换光谱仪。述待测光源与输入波导相连；输入波导输出端与3dB功率分束器输入端相连；所述3dB分束器两个端分别与多级光路选择器一端相连，两个多级光路选择器作为上下干涉臂；两个多级光路选择器的输出端分别与特定长度的覆盖有金属电极的低损耗欧拉螺旋线相连；两个低损耗螺旋线波导另一端同时输入至光功率合束器的输入端；光功率合束器的输出端与光功率探测器的输入端相连，监测输出光信号强度。本发明首次将低损耗波导以及准连续热调节波导与传统片上傅里叶光谱仪结合，可用于生物传感，光谱测量等系统，具有高分辨率、大测量范围、高光通量、结构紧凑等优点。