一种节能型晶体生长单晶炉设备及其使用方法

摘要

本发明公开一种节能型晶体生长单晶炉设备，单晶炉设备包括支架，支架上设有生长炉，生长炉包括固定在支架上的下炉体，下炉体的上方设有上炉盖，下方滑动设有下炉盖，上炉盖的上方固定有上炉体，支架上固定有用于控制下炉盖开合的第一控制机构，支架上设有用于控制上炉盖开合的第二控制机构，生长炉内设有石墨托盘，石墨托盘内放置有石英坩埚，下炉盖上设有用于控制石墨托盘拉升旋转的第三控制机构，下炉体内设有籽晶夹，上炉体的上固定有用于控制籽晶夹拉升旋转的第四控制机构。本发明单晶炉设备通过设置下炉盖，解决了传统的生长炉的石英坩埚取出不方便的问题，通过设置降温腔，加快了冷却速度，提高了晶体生长效率和硅晶体的产量。