耐热辐射的大抽速低温泵

摘要

本发明涉及真空设备领域，具体涉及一种耐热辐射的大抽速低温泵，包括制冷机，制冷机上安装有壳体，制冷机的冷头位于壳体中；所述冷头上设置有一级冷板、二级冷板；所述壳体的开口处设置有前置挡板，自壳体的开口进入的热辐射能够穿过前置挡板打在壳体上被反射和吸收，自壳体的开口进入的气体能够被前置挡板引导至一级冷板、二级冷板处。本发明的优点在于：通过本方案的前置挡板结构，可基本实现热辐射和气体分子分离的目的，从而极大减少低温泵冷板接收到的热辐射，并且由于气体运动通道相对顺畅，可以实现较高的气体抽速，从而兼顾耐热辐射能力与大抽速。