一种高灵敏度与宽量程压力传感器

摘要

本发明提供一种高灵敏度与宽量程压力传感器，包括外壳和位于外壳内的多级传感元；所述外壳受到的外界压力逐渐增大的过程中，所述多级传感元具有不同的厚度或高度，从而所述多级传感元依次顺序受压；本发明的高灵敏度与宽量程压力传感器，基于各级传感元在不同压力范围内具有高灵敏度，具体是利用压力传感器敏感材料易变形可提升传感器灵敏度、而敏感材料变形困难可增大传感器量程的特性，或者是，在依次受压的过程中起主要作用的相应级传感元提供高灵敏度，从而综合提高传感器的灵敏度和量程。