一种线宽量测方法和线宽量测机

摘要

本发明实施例公开了一种线宽量测方法和线宽量测机。该方法包括：摄像组件采集被量测产品的视野图像；截取视野图像，得到被量测产品的第一量测图像；根据第一量测图像内标记物的偏差进行对位，截取第二量测图像；根据第二量测图像和预设图像，计算图像偏差；根据图像偏差，截取第三量测图像；其中，第三量测图像包括被量测产品的量测部；根据量测部的图像，量测计算量测部的线宽。本发明实施例解决了线宽量测机在自动量测过程中，被量测产品的线宽量测失败的问题，提高了被量测产品的线宽量测的成功率，保证了被检测产品的生产效率。