研磨工具组合件及其使用方法和研磨工具致动器插入件

摘要

一种研磨工具组合件，其包含安装工具和插入于致动器与所述安装工具之间的插入件结构，其中所述插入件包含插入销，所述插入销与所述致动器反应性地耦合，使得每一插入销配置成从对应致动器接收平移力，并将所述力传输到所述安装工具的对应致动销。所述插入件可以包含零z轴移位挠曲件系统，和/或z轴去耦挠曲件系统和/或对准特征，以用于将所述致动力准确地传输到所述安装工具，同时抑制对所述安装工具的其它部分的影响。