一种海胆状氧化物基复合膜仿生压力传感器及其制备方法

摘要

本发明涉及一种海胆状氧化物基复合膜仿生压力传感器，包括封装层、柔性基底、敏感膜和电极，敏感膜上方和下方均连接有柔性基底，上方和下方的柔性基底正对面上均覆盖有海胆状氧化物基复合膜，海胆状氧化物基复合膜与外接电极相连。将海胆状氧化物‑导电材料复合膜涂覆在柔性基底上，一方面，海胆状金属氧化物对导电材料起到了支撑作用，提升了导电材料在压力作用下的形变能力；另一方面，导电材料包覆在海胆状金属氧化物的表面，弥补了海胆状金属氧化物导电性差、功耗高等不足。因此，将海胆状金属氧化物与导电材料进行复合，可使传感器兼具高灵敏度、低功耗、制备方法简单、成本低廉、易于量产等优势。