公开/公告号CN111519171B
专利类型发明专利
公开/公告日2021-09-07
原文格式PDF
申请/专利权人 佛山市思博睿科技有限公司;
申请/专利号CN202010097456.X
申请日2020-02-17
分类号C23C16/513(20060101);C23C16/02(20060101);
代理机构31261 上海瀚桥专利代理事务所(普通合伙);
代理人曹芳玲
地址 528000 广东省佛山市南海区桂城街道平西上海村东平路北侧瀚天科技城B区产业区3号楼一楼102号(住所申报)
入库时间 2022-08-23 12:26:03
机译: 等离子体化学气相沉积法涂覆致密疏水膜的方法
机译: 使用相同,燃料电池的气体扩散膜/疏水膜层压板和空气电极,以及生产气体扩散膜/疏水膜层压板的方法
机译: 用于在真空过程中产生不渗透/致密等离子体的等离子体产生方法,包括在空心阴极及其环形阳极之间施加直流电,其中放电电流不断跟随以建立不渗透/致密等离子体