一种单毛细管内面形在线表征方法

摘要

本发明提供一种单毛细管的内面形的在线表征方法，包括：提供同步辐射光，对单毛细管在四个维度上进行调节，使光掠入射到单毛细管的内表面，形成环状聚焦光斑；在单毛细管的下游设置探测器，在单毛细管的上游或下游设置砂纸；对砂纸进行一维定步长扫描，采用探测器获取散斑图样；使单毛细管与砂纸的扫描方向发生相对旋转，且旋转角度为θ，重复上述步骤，直到获得对应于单毛细管的所有内表面的散斑图样；进行数据处理，并对单毛细管的内表面面形进行评估。本发明的方法通过使单毛细管与砂纸的扫描方向发生相对旋转，以适用于测量聚焦单毛细管的三维立体内表面面形，从而实现了对封闭三维的单毛细管的面形检测与评估。