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公开/公告号CN110350041B
专利类型发明专利
公开/公告日2021-08-27
原文格式PDF
申请/专利权人 浙江大学;
申请/专利号CN201910491852.8
发明设计人 李宇波;周虹阳;华飞;楼正杰;汪小知;杨杭生;
申请日2019-06-06
分类号H01L31/0224(20060101);H01L31/0304(20060101);H01L31/09(20060101);
代理机构33200 杭州求是专利事务所有限公司;
代理人林超
地址 310058 浙江省杭州市西湖区余杭塘路866号
入库时间 2022-08-23 12:22:51
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