公开/公告号CN112538654B
专利类型发明专利
公开/公告日2021-08-27
原文格式PDF
申请/专利权人 湖南烁科晶磊半导体科技有限公司;
申请/专利号CN202011311954.6
申请日2020-11-20
分类号C30B23/06(20060101);C23C14/54(20060101);C23C14/24(20060101);
代理机构43008 湖南兆弘专利事务所(普通合伙);
代理人徐好
地址 410000 湖南省长沙市高新开发区岳麓西大道1698号麓谷科技创新创业园A1栋1-1023房
入库时间 2022-08-23 12:22:23
机译: 分子束源细胞,分子束外延生长装置和分子束外延生长
机译: 分子束外延生长和分子束源的方法
机译: 分子束外延器件和分子束外延方法及分子束单元