一种高致密度高纯度碳化硅衬底材料的制备方法

摘要

本发明公开了一种高致密度高纯度碳化硅衬底材料的制备方法,包括以下步骤：S1、β‑碳化硅和α‑碳化硅混合，其中β‑碳化硅占β‑碳化硅和α‑碳化硅质量之和的1‑15％；S2、将步骤S1所得原料置于球磨机内进行混料24小时，然后将粉末取出，过筛后将粉末置于模具中进行热压烧结。该制备工艺不仅提高了α‑碳化硅粉末烧结致密化程度，同时也避免了传统烧结助剂对材料本身性能的影响。