一种多组元氮化物硬质涂层及其制备方法和应用

摘要

本发明属于表面防护涂层材料领域，公开了一种多组元氮化物硬质涂层及其制备方法和应用。该硬质涂层包含(TiAlCrTaW)N层，所述(TiAlCrTaW)N层呈柱状晶生长结构，其化学分子式为(Ti_aAl_bCr_cTa_dW_e)N，其中a+b+c+d+e＝1；0.2≤a≤0.5；0.2≤b≤0.5；0≤c≤0.2；0≤d≤0.2；0≤e≤0.2。该硬质涂层具有优异的高温结构、力学稳定性、抗氧化性和抗磨损性能；沉积态时的硬度值为30～40GPa，弹性模量为400～500GPa；在900℃时的硬度值为35～45GPa，弹性模量为450～550GPa。