NbN/MoSN/MoS₂硬质自润滑纳米结构复合膜及制备方法

摘要

本发明公开了一种NbN/MoSN/MoS₂硬质自润滑纳米结构复合膜及制备方法，薄膜材料以Nb为过渡层，采用射频磁控溅射技术，以高纯Nb靶和高纯MoS₂靶共聚焦溅射制备，薄膜的厚度在1.5‑2μm之间，由面心立方NbN、密排六方NbN以及非晶MoSN和MoS₂构成，其中晶态的NbN被非晶相MoSN和MoS₂包裹，呈现出“非晶包裹纳米晶”的微结构特征。本发明所述NbN/MoSN/MoS₂纳米结构复合膜兼具高硬度和优异的室温摩擦磨损性能；该复合膜的制备方法具有工艺流程简单，生产效率高的优点；该复合膜可用于高性能、干式切削刀具薄膜材料和工模具表面性能改良的薄膜材料。