一种熔石英光学表面超光滑加工的组合加工工艺

摘要

本发明公开了一种熔石英光学表面超光滑加工的组合加工工艺，步骤包括：前期预处理加工；纳米量级面形精度的高效磁流变抛光；中高频表面粗糙度的光顺加工；亚纳米精度光学表面的离子束超光滑抛光加工。本发明提出的加工工艺可以对表面/亚表面损伤、面形精度、表面粗糙度进行分阶段的控制，实现全频段误差一致收敛到亚纳米精度的高效加工，原理简单、容易实现、效率更高。