超光滑光学元件表面疵病检测与控制

摘要

超光滑表面形貌是加工过程的复现,通过对表面疵病宏观与微观形貌研究,以实现对加工过程中产生疵病源头准确定位与控制.本文首先确定了抛光工序是疵病控制重要研究阶段,并对抛光过程中疵病源头进行了概述;依据超光滑表面疵病特点,本文提出了有针对性的疵病两步测量法,并对两步测量方法中三种常用设备的原理、精度、优缺点以及测量疵病宏微观形貌的适用性进行了详细研究,为后续深入研究疵病源头定位与控制指明了方向。