球面光学元件表面疵病的检测装置及其检测方法

摘要

本发明提供一种球面光学元件表面疵病的检测装置，其包括：工作台、气动浮台、三轴移动滑台及显微物镜成像设备。气动浮台设置于所述工作台上，且能绕自身轴线以一定角速度转动。气动浮台用于放置待检测的光学元件。三轴移动滑台设置于所述工作台上。显微物镜成像设备设置于三轴移动滑台的末端，用于拍摄气动浮台上的光学元件。三轴移动滑台将显微物镜成像设备移动至气动浮台的正中心，并在每间隔一预设时间时，驱动显微物镜成像设备向气动浮台的边缘移动一预设距离，直至显微物镜成像设备位于气动浮台的边缘。本发明还提供一种检测方法。本发明能够对光学元件表面疵病的进行检测及数字化评估，极大提高检测效率及检测精度。