高计数率阻性微井型探测器放大单元的制备方法

摘要

本公开提供一种高计数率阻性微井型探测器放大单元的制备方法，包括：步骤S1：制备基材层；步骤S2：制备读出电极PCB；步骤S3：将步骤S1制备的基材层与步骤S2制备的读出电极PCB通过Pre‑preg层粘接；步骤S4：制备导电过孔；步骤S5：刻蚀基材层至DLC上表面形成井型放大孔阵列；以及步骤S6：移除导电过孔上表面附近的铜层，完成高计数率阻性微井型探测器放大单元的制备。