一种基于NaF形状调节剂的纳米碳化硅颗粒的制备方法

摘要

一种基于NaF形状调节剂的纳米碳化硅颗粒的制备方法，它属于碳化硅制备、半导体材料制备技术领域，它要解决现有碳化硅粉体的制备存在成本高、反应温度高、过程不易控制、工艺复杂、产率低、纯度较低和粒径分布不均匀的问题。方法：一、碳前驱体的制备；二、碳前驱体、NaF、纳米硅微粉和乙醇溶液球磨后喷雾干燥，得混合物料；三、混合物料高温烧结炉，得到预产物；四、除杂处理。本发明通过NaF、硅源以及碳源的相互作用，有效抑制碳化硅的过饱和的线状生长，控制粒子形貌与粒径。本发明的制备方法简单，反应温度适中、过程易控制，从而提高了生产效率，并且产品纯度高，粒径分布均匀。本发明应用于纳米级碳化硅颗粒的制备。