一种原位制备复杂结构样品中纳米级颗粒的TEM样品的方法

摘要

本发明提供了原位制备复杂结构样品中纳米级颗粒的TEM样品的方法，将样品置于双束电镜的样品腔中的样品台上，在样品台上安装铜网，密闭样品腔并抽真空，利用扫描电子显微镜功能观察样品的表面形态，找到感兴趣的纳米颗粒团簇区域，保持样品台处于水平状态，依靠静电吸附力将纳米级颗粒吸附到纳米机械手的针尖上，缩回纳米机械手，将铜网移至电子枪的正下方，依靠静电吸附力将针尖上吸附的纳米级颗粒固定至铜网上的铜孔边缘处，取出固定了纳米级颗粒的铜网，即完成制样。本发明可实现对具有复杂结构且无法进行抛光处理的块状样品或稀缺的地外微米级粉末样品中夹带的纳米级颗粒的TEM样品的制备，可应用于行星科学和行星探测的基础研究领域。