一种原位制备微米级的单颗粒多个TEM薄片样品的方法

摘要

本发明属于行星科学和行星探测领域，提供了原位制备微米级的单颗粒多个TEM薄片样品的方法，步骤如下：将单颗粒样品以部分悬空的方式粘接固定在针尖上，置于双束电镜的样品台上，安装好FIB载网，密闭样品腔并抽真空；在单颗粒样品表面沉积Pt层；从双束电镜的离子束的界面观察单颗粒样品，选取感兴趣区域，用FIB对单颗粒样品进行剥蚀切割加工，将感兴趣区域从单颗粒样品上切割下来得到切片，将切片与双束扫描电镜配置的纳米机械手粘接；将纳米机械手上的切片粘接在FIB载网上使切片与样品台垂直，切断切片与纳米机械手的连接，用FIB将切片减薄制成TEM薄片样品；重复切割与减薄的操作，将单颗粒样品制备成多个TEM薄片样品。