输出误差减小的具有过压保护的压力传感器

摘要

本发明提供了一种装置，所述装置包括传感器主体(206)、被配置成测量差压的传感器(204)、以及所述传感器主体中或上的第一压力输入和第二压力输入。所述压力输入被配置成向所述传感器提供多个输入压力。每个压力输入包括被配置成响应于压力而移动的屏障隔膜(208,210)，以及被配置成限制所述屏障隔膜的移动的过载隔膜(216,218)。所述过载隔膜还被配置成抵靠所述传感器主体施加预紧力。每个压力输入的所述过载隔膜可以包括多个褶皱。所述褶皱的基部(502)可以被配置成提供所述预紧力，并且所述褶皱的顶部可以通过间隙(504)与所述传感器主体分离。不相邻的所述褶皱的顶部(602)可以被配置成提供所述预紧力，并且所述不相邻的褶皱之间的所述褶皱的顶部可以通过间隙(604)与所述传感器主体分离。