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电磁波检测器、电磁波检测器阵列以及电磁波检测方法

摘要

电磁波检测器包括:受光石墨烯以及参照石墨烯,并排配置于绝缘层之上;第1电极以及第2电极,隔着受光石墨烯以及参照石墨烯而对置配置;栅极电极,对受光石墨烯以及参照石墨烯施加栅极电压;平衡电路,连接于第2电极之间;以及检测电路,受光石墨烯在电磁波入射的情况下由于带内跃迁而产生光载流子,参照石墨烯在电磁波入射的情况下由于泡利阻塞效应而不产生光载流子,在电磁波不入射到受光石墨烯以及参照石墨烯的状态下,平衡电路使第1电极和第2电极成为相同电位,在电磁波入射到受光石墨烯以及参照石墨烯的状态下,检测第2电极之间的电信号。

著录项

  • 公开/公告号CN110402373B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2021-07-30

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 三菱电机株式会社;

    申请/专利号CN201780087551.8

  • 申请日2017-10-19

  • 分类号G01J1/02(20060101);H01L31/0248(20060101);

  • 代理机构11038 中国贸促会专利商标事务所有限公司;

  • 代理人肖靖

  • 地址 日本东京

  • 入库时间 2022-08-23 12:13:25

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