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公开/公告号CN110402373B
专利类型发明专利
公开/公告日2021-07-30
原文格式PDF
申请/专利权人 三菱电机株式会社;
申请/专利号CN201780087551.8
发明设计人 岛谷政彰;小川新平;藤泽大介;奥田聪志;
申请日2017-10-19
分类号G01J1/02(20060101);H01L31/0248(20060101);
代理机构11038 中国贸促会专利商标事务所有限公司;
代理人肖靖
地址 日本东京
入库时间 2022-08-23 12:13:25
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