一种会聚角可调无磁飞秒电子源装置

摘要

本发明公开了一种会聚角可调无磁飞秒电子源装置，包括：真空腔，以及设置于真空腔内且中轴线重合并依次间隔排列的光电阴极、栅极、阳极、电会聚镜和电物镜；光电阴极用于在飞秒激光脉冲激励下产生飞秒脉冲电子束；光电阴极和阳极之间加电压，用于对电子束加速；电会聚镜和电物镜的电压均可调，用于两次对加速后的电子束会聚，得到平行束或实际所需会聚角的会聚束电子脉冲。本发明采用电会聚镜和电物镜来对脉冲电子束进行两次聚焦，电会聚镜和电物镜的电压灵活可调，从而可得到不同会聚程度和束斑尺寸的脉冲电子束。另外，本发明采用静电透镜能大幅减少电子源装置的尺寸，结构简单，进而能够提高所需电子束的质量以及灵活可控性。