公开/公告号CN108342772B
专利类型发明专利
公开/公告日2021-07-23
原文格式PDF
申请/专利权人 中国科学院过程工程研究所;
申请/专利号CN201710049714.5
申请日2017-01-23
分类号C30B25/00(20060101);C30B29/64(20060101);
代理机构11332 北京品源专利代理有限公司;
代理人巩克栋;胡彬
地址 100190 北京市海淀区中关村北二条1号
入库时间 2022-08-23 12:11:26
机译: 清洁单元,清洁单元系统,功能单元,功能单元系统,材料处理方法,设备制造方法,植物生长方法和细胞系生长方法
机译: 可用于通过生长工艺在基板上生产层的涂层系统,最好用于执行原子层沉积,该涂层系统包括供料容器和蒸发器单元,在供料容器中提供了用于层的液体原材料
机译: 一种农作物的生长或育种方法,一种农作物保护剂的生产方法以及在载体中检测病原体的方法,以及一种农作物生产单元和农作物生产系统。