公开/公告号CN109917620B
专利类型发明专利
公开/公告日2021-07-23
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申请/专利权人 长鑫存储技术有限公司;
申请/专利号CN201711316127.4
发明设计人 不公告发明人;
申请日2017-12-12
分类号G03F7/20(20060101);
代理机构11313 北京市铸成律师事务所;
代理人张臻贤;李够生
地址 230000 安徽省合肥市经济技术开发区翠微路6号海恒大厦630室
入库时间 2022-08-23 12:11:05
机译: 晶圆载具系统,晶圆载具,具有晶圆和晶圆载具的系统以及掩模对准器
机译: 双晶圆载具工艺,用于创建具有硅通孔和微机电系统的集成电路管芯,该通孔和微机电系统受晶圆级产生的气密腔保护
机译: 具有集成防护,开尔文连接和屏蔽系统的晶圆探针台